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白光干涉儀SIS系列 添加時間:2018/4/9
產品詳情
基本信息
品牌: | SNU | 型號: | SIS 1200 | 操作方式: | 手動 |
功能: | 檢測、觀察、分析 | 精度 : | 1nm | ||
其它型號: |
產品介紹
白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術,是專為準確測量表面輪廓、粗糙度、臺階高度和其他表面參數而設計的微納米測量系統(tǒng),,為韓國SAMSUNG全球唯一指定供應商,LPL友好俱樂部成員,清華大學,臺灣大學,首爾大學友好合作伙伴。
產品特點
1、非接觸式測量:避免物件受損。
2、三維表面測量:表面高度測量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率:垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數字信號處理器:實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺:氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件:基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面,強大而快速的運算。
2、三維表面測量:表面高度測量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級分辨率:垂直分辨率可以達到0.1nm。
5、高速數字信號處理器:實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺:氣動裝置、抗震、抗壓。
8、測量軟件:基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面,強大而快速的運算。
技術參數
機型
|
SIS 1200
|
|
工作臺
|
尺寸
|
250 mm×174 mm
|
傾斜度
|
±3 °
|
|
測量行程
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X:150mm Y:100mm
|
|
Z軸行程
|
50mm
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運動方式
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手動
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|
掃描速度
|
30μm/sec
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垂直分辨率
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0.1nm
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CCD
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黑白CCD, 640×480 像素
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物鏡安裝架
|
手動導引五孔式
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鏡頭選配
|
鏡頭:5×、10×、20×、50×
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應用領域
1、TFT產業(yè)
2、半導體
3、MEMS
4、高??蒲?br /> 5、精密加工
2、半導體
3、MEMS
4、高??蒲?br /> 5、精密加工
附件
水準測量器、旋轉臺、CCD、鏡頭、LED光源、掃描控制盒、PZT傳感器、光源控制器等
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